重生之电子风云-第302部分
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温材料包裹着的设备箱缓缓吊起,平稳送上了二楼平台,随即设备箱被安装人员在平台上打开,将里面那台用一层层保温防尘膜裹紧的光刻机推到了滑轮台上,接着被小心地推进活动门,随着被多层薄膜裹得严严实实的两台光刻机前后消失在门内,大门缓缓合拢,工程师们鱼贯爬上平台,开始对大门与墙体接缝处进行密封施工。
康耀祥手拿对讲机发号施令:“设备一组各就各位,立刻对光刻间进行一级除尘,注意控温,三小时后摘除第一层防尘恒温罩,明天天亮之前要把所有防尘恒温罩摘除,明天一定要进入机位安装程序,绝不能耽误外方安装人员的工作日程!”
胡一亭在康耀祥身旁静静地看着他指挥,心中感慨良多:“这是属于我们重光自己的第一个0。35微米八英寸晶圆厂,今天终于落地了。重光第一晶圆厂!这只是个开始!”
康耀祥也感叹不已:“从1995年年底与Cyrix敲定合资,到现在1997年一月最后也最重要的光刻机进场,浦海01厂的建设速度完全追平了西方大厂的建设周期,接下来一年我们可有的忙了,要在12个月内完成全流程设备调试和制程实验,争取年底出片,这中间还不知有多少坎需要迈过。”
胡一亭的眼睛笑成了三角形:“我有信心,老康你瞧好了。”
康耀祥的脸被冬日阳光照得通红,“胡总,我对你有信心,一种近乎盲目的信心,我相信跟着你,将来有数不清的奇迹等着我们去创造。”
说完康耀祥指着重光第一晶圆厂旁边的909工程华虹NEC厂:“胡总你看,就连日本人都坐不住了。
本来他们的建设周期一直在宕延,可一听说我们今天就要完成光刻机吊装,现在日本NEC的项目经理急的像热锅上的蚂蚁。
电子工业部已经和他们在交涉了,问他们为什么同样是95年启动的项目,而且比我们早动工半年的前提下,到现在尼康的光刻机还迟迟不能就位。”
胡一亭望着旁边华虹厂办公楼顶上黑压压一群热切张望这边的工程师,笑道:“胡部长不也说了嘛,我们这边进度越快,对日本人的压力就越大。
呵呵,这有一半功劳得感谢Cyrix,要不是他们第一时间搞定了这些设备的进口,我们就得像909工程那帮人一样继续苦等。”
康耀祥点点头:“这可是49%股份才换来的积极性,我们自己手里不过才45%罢了,还有6%股权属于浦海市政府,好在董事会和经营权掌握在我们手里,浦海市政府只是财务投资,Cyrix方面也是坐享其成。”
胡一亭撇撇嘴:“我们要是搞砸了,Cyrix一点损失都没有,我们要是搞成了,他们坐地分赃。碰上这么好的事,积极性能不高吗。”
康耀祥问道:“胡总,央研院联合湖研院做的闪存颗粒设计图纸和制备流程工艺你看了吗?觉得行吗?”
胡一亭道:“大致上是这个样子,但还是有一些问题需要修改,照目前的设计,生产很困难,良品率很低。”
康耀祥忙问:“为什么?那可是根据你设计的核心存储模块做的设计啊!你之前也看过!不是说马马虎虎吗?湖研院马上就要进行试验试制了,这样一来岂不是要失败?”
胡一亭笑道:“因为我还没出手嘛,所以只能叫马马虎虎。”
康耀祥无奈地笑了起来,他知道胡一亭有多么神奇,既然胡一亭说设计上还存在问题,那一定错不了。
“胡总你明天要去湖山,这次是要定稿了吧?”
“对,目前他们的颗粒设计有些常见的毛病,没流片试制过是不会发现的,需要我来纠正一下,省的回头再改,来来去去的浪费时间。”
康耀祥目瞪口呆:“什么毛病?胡总你难道以前流片过NAND颗粒?”
胡一亭认真道:“他们在IO输入输出接口设计上太想当然,没有考虑制备难度和工序,DMA引擎设计不够精简,影响存取速度,校验算法效率不高导致坏区检验能力不足,颗粒使用时间长了以后数据会经常出错。”
康耀祥几乎要哭出来:“胡总你怎么不早说?我还以为那个设计很完美呢?赵赫前两天还在到处吹牛,说顶多流个七八次片就能试验成功。”
胡一亭笑道:“我不想打击你们积极性嘛,赵赫没说错,不过那样一来我们的颗粒比起东芝和英特尔也就没有性能优势了,也没有成本优势,我打算稍微修改一下设计,这样可以把制备流程缩短30%,生产成本会大幅下降,以后良品率也会很容易上去。”
康耀祥板着下巴,可怜巴巴的眨着眼:“胡总你真是天才……不!是妖怪!这话要是从别人嘴里说出来的,我一定以为他在放屁,可你这么一说,我就知道你肯定能做到。”
胡一亭哈哈笑着:“我就只有这点天赋,别的也不会什么了。”
康耀祥咬着下唇,终于开口问道:“胡总你上辈子是不是搞IC的?这辈子是带着记忆投胎?是个老妖怪?”
胡一亭吓的浑身一哆嗦,赶紧驳斥道:“老康你还科学家呢!子不语怪力乱神!就凭你刚才说的这句话,就够进精神病院了!”
康耀祥笑了起来:“没办法,要不是这样我实在没法跟自己解释。总之我听你的,你说怎么改就怎么改。”
胡一亭点点头:“我今晚回湖山,争取一个礼拜改完,其实你们搞的设计还是挺好的,真的,就是缺少了点经验。”
康耀祥默默听着,心情复杂极了。
第518章 与成光所合作()
胡一亭坐火车从浦海连夜赶回湖山,窦士诚和姬盈盈随行。到了湖山他来不及和母亲多说会话,只是在家吃了顿饭就匆忙赶往湖研院,对事业的记挂占据了他整个大脑。
奚龙山目前正在全力以赴攻关0。35微米制程工艺,用的是从中科院光电技术研究所既成光所处采购的0。8…1微米国产分步重复投影光刻机,但已经换上了胡一亭设计的那组新镜头,同时结合胡一亭秘密授予的双胶涂覆工艺和光刻机双工件台智能联动镜头像场精密校准系统的设计方案。
这三大绝密技术当初一公布就在湖研所引起了极大的轰动效应,所里的资深工程师们都把胡一亭奉为天人下凡,平时说起他的名字来都会带着满满的推崇和尊敬,没别的原因,实在是因为觉得他太牛了,如今哪还有人敢把他当18岁的小青年来看。
尤其是所里新进的年轻人们,如今更是把胡一亭当成头号偶像,受到他的鼓舞,觉得属于年轻人的时代已经到来了,个个踊跃,想要上位,工作积极性空前高涨,所里每晚都灯火通明,工程师们熬油点灯地争分夺秒,想要尽快攻克0。35微米制程工艺,放个大卫星出来。
按照湖研院总裁奚龙山和副总裁王选玉的判断,如果这次能抢在中科院微电子所之前搞出“0。35微米CMOS器件LSI大规模集成电路全套工艺”,一个国家科技进步二等奖是跑不了的。
当初向成光所订购他们的0。8…1微米光刻机时,成光所是很惊讶的,国产光刻机居然还有人要采购?而且是目前已不再被西方禁运的0。8…1微米制程,对方简直是瞎了眼了!
但既然有狗大户要买,成光所当然是全力以赴配合,拍着胸脯打包票说保证工期,一定对重光和另一个买家北都微电子中心一视同仁,同时交货。
而当奚龙山提出要采购三套设备时,成光所更是以为重光湖山研究院发了疯,当得知他们一年有三个亿的研发经费之后,成光所吓了一跳,认定湖研院是财大气粗吃饱了撑的。
每台一千二百万的采购价格可谓昂贵,比之进口的尼康光刻机也只便宜了一百万,而在工作稳定性上却不如进口设备成熟可靠,但重光湖研院却一口气订了三台这样的国产设备,这实在是让成光所上下参与设计该款光刻机的科研人员们眉喜笑颜开,他们实在是没想到,这款机器除了有国家任务的不得不采购的北都微电子中心这个客户之外,国内居然还有第二家愿意吃螃蟹的用户,而且是真金白银的掏钱来买。
成光所马佳光所长激动了,当即对奚龙山表示,绝耽误不了重光的研发安排,就算北都微电子中心那边交货延迟,都不会延迟交付重光的订货,嗯……不过能不能先把三台设备的3600万货款给先结个一半?如今成光所也缺钱的很呢……马所担忧的提出。
这点要求对于如今阔了的湖研院来说当然不是难事,奚龙山生平第一次体会当暴发户的感觉,当时就同意先转1800万的采购款给对方,当然奚龙山也趁机提出要求,希望成光所能派出技术骨干参与湖研院这次的0。35微米技改项目研发,同步掌握先进光刻系统的技术,为将来尽快量产打下基础。
马佳光是国内光电测量和控制技术领域的专家,当听说湖研院打算搞0。35微米制程时当场吓了一大跳,心说难道对方就打算靠成光所这三台0。8…1微米光刻机来搞大跃进?对方既然一口气采购了三台,想必是已经有了前瞻的技术储备,只是不知道他们的技术有没有希望成功。
“你们打算用什么样的技术来实现?”
奚龙山想着胡一亭要求尽可能与成光所展开合作,于是把胡一亭主导的三项技术给马所长介绍了一番。
当听说湖研院的技术如此领先,想法如此超前,马佳光也吓了一大跳,对于重光湖研院的新镜头和双胶工艺还有光刻机双工件台智能联动镜头像场精密校准系统充满了好奇,这些技术他以往只在与国外专家交流时隐约有所耳闻,但苦于西方技术封锁,从来看不到任何西方发表的学术论文上对此有过任何关于这些技术的阐述,如今听说重光居然搞了出来,这叫他如何能不兴奋!如何能不吃惊!如何能不好奇!
马所长心痒难奈之下当即表示,愿意和重光湖研院合作,希望双方能达成技术共享,协做进步。
在他看来,即便湖研院因为技术不成熟,达不到既定目标,也起码是掌握了一些先进技术的,否则重光这家国内近两年来声名鹊起的公司又怎肯出手从军方把214所给吃下来呢?还给了一年三个亿的研发经费啊!这笔巨款在国内当下来说,完全足够运营一个国家级科研院所了!即便重光不成功,对成光所自己的技术开发也一定能起到引导和启发。
当然他心里还是存在疑惑,觉得从军方214所改制而来的湖研院不可能有这么高明的技术,但好奇心还是驱使他决定派人过去一探究竟,希望能从湖研院那里得到些技术启发,为成光所今后技术开发提供一定借鉴。
之后马所长果然没有食言,湖研院拿到第一台光刻设备时,仅落后北都微电子中心一周而已,据前来湖山负责安装的成光所工程师说,这台设备其实比北都微电子中心的那台更好些,在复制时进行了一些改进。
两个月后湖研所又拿到了成光所制造的第二台光刻机,而此时成光所也第一次见到了重光的新镜头,这套价值550万由长光所根据湖研所提供的图纸进行加工组装的具有二十片镜片五个套筒完整微气压调节系统和纳米级激光校准系统的高级镜头组立刻就让成光所负责技术合作的科学家和工程师们目瞪口呆,觉得湖研所里一定有不世出的奇人,这种神器说是十年磨一剑设计出来的也不过分啊。
按照湖研院的安排,成光所交付的第一台光刻机被用于0。8微米制程下的流片与双胶涂覆工艺的制程实验,这第二台自然是要用于镜头改装的,将来的第三台是要进行双工件台智能联动镜头像场精密校准项目的。
经过连续几个月的合作之后,成光所现在对重光湖研院的技术佩服的五体投地,对他们的三大技术路线再也没有任何怀疑,马所长前后已经来过湖研院三次,每次都带着激动和兴奋,对湖研院在项目上的每一次进展都啧啧称奇,对于幕后主导这三大重点技改项目的胡一亭更是惊为天人,马所总是以天才胡一亭称呼那位还没见过面的心仪人物,断言其必然成为国内IC业未来领袖。
所以这次胡一亭按照日程回到湖山之后,就在湖研院见到了希望和他面谈的马佳光所长还有成光所目前驻扎湖研所的的二十几位顶尖科学家和工程师组成的团队。
双方经过商议后,胡一亭和马佳光所长共同敲定了重光湖研院和成光所共同研发0。35微米先进光刻系统的实施计划。
“目前重光第一晶圆厂已经进了设备,用的是ASML的I…line光刻系统,他们这台光刻机,每套设备价值400万美元,马所,如果我们重光能搞定实验室技改,希望你们成光所能尽快拿出整套样机,到时候我们重光还按照400万美元的价格向你们采购,今后重光公司要新建的0。35微米制程晶圆厂也将尝试采用国产光刻系统!中国自己的设备如果不在生产中大量使用,我们永远都发现不了问题,也就没法进步,重光愿意为中国设备的进步赴汤蹈火,吃亏吃苦!”
马佳光所长听了胡一亭这话感动异常:“一言为定!我同意胡总你的说法,只有生产实践才能使国产设备不断提高水平!研制出设备不等于量产设备!最终制造出的设备能否长时间稳定持续生产,这才是最大的考验!跑第一张wafer的刻蚀率与第四万张的刻蚀率之间的差值是否一样能达到工艺要求?设备第一年连续运行的故障率能控制在多少时间?设备在运行几年后还是否能进行工艺改造升级?损耗部件的寿命与价格能否达到较高的性价比?以上这些都是有待时间验证的。世界排名前十位的设备制造商,都至少有十几二十年以上的实践生产历史,设备都是经受住时间考验的,大浪淘沙般的磨砺出来的。中国国产设备虽然目前有些进步的成绩,但还是需要些时间来积淀。重光如果愿意在生产中使用国产设备,我觉得国家即便砸锅卖铁也该支持!“
胡一亭连连点头:“马所真知灼见,了不起!”
马所和蔼地笑了起来,又问:”不过,重光能不能�